Растровый электронный микроскоп-система микроанализа с безазотным энергодисперсионным детектором X-Act ADD + JSM-5900LV (Jeol, Япония), оснащенный системой волнодисперсионного микроанализатора, шлюзовой камерой и устройством для подавления электромагнитных помех INCA Energy 250 и INCA Wave 500 (Oxford Instruments, Великобритания).
Растровый электронный микроскоп позволяет:
- получать изображение поверхности исследуемого объекта с разрешением 3.0 нм в высоковакуумном и 4,5 нм в низковакуумном режимах,
- исследовать распределение концентрации элементов от B до U на поверхности и вдоль выбранного направления сканирования,
- проводить количественный анализ в выбранных точках с локальностью до 1 мкм, точностью до 1—2 % и абсолютной чувствительностью до 10-13 г.
- исследовать структуру, морфологию, распределение и форму частиц для микроанализа в точке с локальностью до 1 мкм, точностью до 1—2 % и абсолютной чувствительностью до 10-13 г и по линии сканирования
Основные характеристики прибора:
- Пространственное разрешение 3 нм (2,5 нм с катодом LaB6)
- Ускоряющее напряжение от 0,5 кВ до 30 кВ
- Диапазон увеличений от ×5 до ×300 000 раз
- Максимальный размер образца диаметр до 150 мм, высота до 48 мм
- Виды контраста:
- вторичные электроны: топографический контраст
- отражённые электроны: композиционный, топографический, теневой контрасты
- Катод W или LaB6 (опция)
